Format:
XXXV, 757 S.
,
graph. Darst.
Edition:
2. ed.
ISBN:
0471720011
,
9780471720010
Note:
Hier auch später erschienene, unveränderte Nachdrucke
Language:
English
Subjects:
Physics
Keywords:
Plasmadynamik
;
Festkörperoberfläche
;
Dünne Schicht
;
Niederdruckplasma
;
Dünnschichttechnik
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