Format:
1 Online-Ressource (XX, 366 S.)
Edition:
2. Auflage
ISBN:
9783642614156
,
9783642648328
Series Statement:
Halbleiter-Elektronik 19
Note:
Dieses Buch beschreibt kompetent und umfassend die aktuellen Technologien zur Herstellung von hochintegrierten Schaltungen bis zur Prozeßintegration für den 256-Mbit-Speicher. Es wendet sich damit an fortgeschrittene Studenten sowie Ingenieure und Naturwissenschaftler in Forschung, Entwicklung und Fertigung. Die gewaltigen Entwicklungen in der Prozeßtechnologie der letzten Jahre finden sich in dieser Neuauflage wieder: Planarisierungstechniken, neue Materialien wie Refraktärmetalle, modernste Prozeßarchitekturen für CMOS-, Bipolar-, BICMOS- und Smart-Power-Technologien. Hinzu kommen wesentlich verbesserte Einzelprozesse in Schichttechnik, Lithographie, Ätztechnik und Dotiertechnik mit selbstjustierenden Verfahren. Die Autoren, selbst aktiv an diesen Fortschritten beteiligt, geben Informationen aus erster Hand
Language:
German
Keywords:
LSI
;
Halbleitertechnologie
;
VLSI
;
Halbleitertechnologie
;
VLSI
;
Technik
;
LSI
;
Technik
;
Integrierte Schaltung
;
Electronic books.
DOI:
10.1007/978-3-642-61415-6
URL:
https://ebookcentral.proquest.com/lib/th-brandenburg/detail.action?docID=6872972
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