Umfang:
1 Online-Ressource
Ausgabe:
Online-Ausgabe Springer ebook collection / Chemistry and Materials Science 2005-2008 Sonstige Standardnummer des Gesamttitels: 041171-1
ISBN:
9783540264620
Serie:
Springer Series in Advanced Microelectronics 16
Weitere Ausg.:
Reproduktion von High Dielectric Constant Materials 2005
Weitere Ausg.:
Erscheint auch als Druckausgabe ISBN 978-3-540-21081-8
Sprache:
Englisch
Fachgebiete:
Physik
Schlagwort(e):
VLSI
;
MOS-FET
;
Gate
;
Siliciumdioxid
;
Dielektrische Schicht
;
VLSI
;
MOS-FET
;
Gate
;
Siliciumoxinitride
;
Dielektrische Schicht
;
Aufsatzsammlung
Mehr zum Autor:
Huff, Howard R.
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