Buch
Eggenstein-Leopoldshafen : Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik GmbH Karlsruhe
Umfang:
51 S
,
Ill., graph. Darst
Ausgabe:
Als Ms. gedr
Serie:
Forschungsbericht / Bundesministerium für Forschung und Technologie T 82-216
Anmerkung:
Förderkennzeichen BMFT NT 0938
,
Sprache der Zusammenfassung: Englisch
,
Mit engl. Zsfassung
Sprache:
Deutsch
Schlagwort(e):
Maskentechnik
;
Röntgenlithografie
;
Polyimide
;
Forschungsbericht
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