Format:
II, 117 S.
,
Ill., graph. Darst.
Edition:
Als Ms. gedr.
ISBN:
3826565940
Series Statement:
Berichte aus der Elektrotechnik
Note:
Zugl.: Duisburg, Univ., Diss., 1999
Language:
English
Keywords:
Sensor
;
Mikromechanik
;
Silicium
;
Polykristall
;
Dickschichttechnik
;
LPCVD-Verfahren
;
Hochschulschrift
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