Format:
V, 95 S.
,
Ill., graph. Darst.
,
21 cm
Edition:
Als Ms. gedr.
ISBN:
9783183383092
Series Statement:
Fortschrittberichte VDI : Reihe 9, Elektronik, Mikro- und Nanotechnik 383
Language:
German
Subjects:
Engineering
Keywords:
Mikrosystemtechnik
;
Spule
;
Miniaturisierung
;
LTCC
;
Mikrosystemtechnik
;
Spule
;
Miniaturisierung
;
Kunststofffolie
;
Mikrosystemtechnik
;
Spule
;
Miniaturisierung
;
Halbleitersubstrat
;
Aufsatzsammlung
Author information:
Kallenbach, Matthias 1972-
Bookmarklink