Format:
VIII, 106 S.
,
Ill., graph. Darst.
Edition:
Als Ms. gedr.
ISBN:
3-18-140210-7
Series Statement:
Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI / 10] 202
Note:
Zugl.: Darmstadt, Techn. Hochsch., Diss., 1992
Language:
German
Keywords:
Kondensatormikrofon
;
SG-FET
;
Silicium
;
Substrat
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Mikromechanik
;
Hochschulschrift
;
Hochschulschrift
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