Format:
XIII, 118 S.
,
Ill., graph. Darst.
Edition:
Als Ms. gedr.
ISBN:
3183609029
Series Statement:
Fortschrittberichte VDI : Reihe 2, Betriebstechnik 609
Note:
Zugl.: Hannover, Univ., Diss., 2001
Language:
German
Subjects:
Engineering
,
Physics
Keywords:
Silicium
;
Polykristall
;
Laserablation
;
Ultrakurzer Lichtimpuls
;
Femtosekundenbereich
;
Mikrosystemtechnik
;
Hochschulschrift
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