Umfang:
XI, 272 Seiten
,
Illustrationen, Diagramme
ISBN:
9783110486902
Weitere Ausg.:
Erscheint auch als ISBN 9783110487480
Weitere Ausg.:
Erscheint auch als Online-Ausgabe, EPUB ISBN 978-3-11-048723-7
Weitere Ausg.:
Erscheint auch als Online-Ausgabe, PDF Zhang, Jie Wafer Fabrication Berlin/Boston : De Gruyter, 2018 ISBN 978-3-11-048747-3
Sprache:
Englisch
Fachgebiete:
Technik
Schlagwort(e):
Halbleitertechnologie
;
Wafer
;
Intelligente Fertigung
;
Handhabungstechnik
;
Materialflusssystem
;
Transportsystem
;
Automation
;
Computersimulation
URL:
http://www.degruyter.com/search?f_0=isbnissn&q_0=9783110486902&searchTitles=true
URL:
https://www.degruyter.com/doc/cover/9783110486902.jpg
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