Format:
113 Seiten
,
Illustrationen, Diagramme
,
21 cm
ISBN:
9783875252811
Series Statement:
Fertigungstechnik Erlangen 198
Note:
Dissertation Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg 2008
Additional Edition:
Erscheint auch als Online-Ausgabe 10.25593/978-3-87525-281-1
Language:
German
Subjects:
Engineering
,
Physics
Keywords:
Mikrosystemtechnik
;
Laserablation
;
Excimerlaser
;
Flüssigkeitsfilm
;
Hochschulschrift
URL:
Volltext
(kostenfrei)
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Volltext
(kostenfrei)
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(kostenfrei)
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Volltext
(kostenfrei)
Author information:
Roth, Stephan
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