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    Walter de Gruyter GmbH ; 2018
    In:  tm - Technisches Messen Vol. 85, No. 2 ( 2018-2-23), p. 88-96
    In: tm - Technisches Messen, Walter de Gruyter GmbH, Vol. 85, No. 2 ( 2018-2-23), p. 88-96
    Abstract: Das Verfahren der Scatterometrie bietet das Potenzial periodische Nanostrukturen wie z. B. Gitter prozessintern zu prüfen. Allerdings liefert es keine Topografiedatensätze, sondern nur Oberflächenparameter wie z. B. die Stegbreite einer Nanostruktur und dies auch nur, sofern der Zusammenhang zwischen Streulichtverteilung und Oberflächenparametern durch Untersuchungen bekannt ist. Dieser Beitrag beschreibt einen Scatterometrie-Ansatz zur nanometergenauen In-Prozess-Erfassung der lokalen Höhen eines sinusförmigen Nanogitters. Da der Zusammenhang zwischen der Gitterhöhe und der resultierenden Streulichtverteilung nicht bekannt war, wurde der Streuprozess mit einem numerischen Modell für unterschiedliche Oberflächen und Messparameter simuliert. Im Ergebnis ergaben sich ein Messaufbau und eine Messmethodik, mit denen eine eineindeutige Messung der Gitterhöhe bis 500 nm erreicht wurde. Zusätzlich wurde die Unsicherheit des Messansatzes basierend auf den Simulationsergebnissen für unterschiedliche Mess- und Simulationsparameter, wie z. B. den Einfallswinkel und die Laserwellenlänge, untersucht. Die resultierende Messunsicherheit der Gitterhöhe ist gegenwärtig durch unbekannte systematische Messabweichungen limitiert und beträgt bei der Verwendung von Laserlicht im sichtbaren Wellenlängenbereich ≤ 8 nm. Eine experimentelle Überprüfung des Messansatzes mit einem Laboraufbau konnte die Sensitivität für die Identifizierung von lokalen Abweichungen der Gitterhöhe belegen. Bei der Verwendung eines angepassten Detektionssystems für die Streulichtverteilung sind prinzipiell Messraten bis in den MHz-Bereich erreichbar, so dass der Ansatz für In-Prozess-Anwendungen geeignet ist.
    Type of Medium: Online Resource
    ISSN: 2196-7113 , 0171-8096
    RVK:
    RVK:
    Language: English
    Publisher: Walter de Gruyter GmbH
    Publication Date: 2018
    detail.hit.zdb_id: 2025790-9
    SSG: 15,3
    Library Location Call Number Volume/Issue/Year Availability
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  • 2
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    Walter de Gruyter GmbH ; 2020
    In:  tm - Technisches Messen Vol. 87, No. 3 ( 2020-03-26), p. 201-209
    In: tm - Technisches Messen, Walter de Gruyter GmbH, Vol. 87, No. 3 ( 2020-03-26), p. 201-209
    Abstract: Die Kenntnis der zum Beispiel während des Schleifprozesses auftretenden thermomechanischen Werkstückbeanspruchungen und der im Material verbleibenden Veränderungen lässt sich gemäß dem Konzept der Prozesssignaturen nutzen, um den Fertigungsprozess zu optimieren und mit anderen zu vergleichen (z. B. mit der Laserbearbeitung). Voraussetzung für die Erstellung einer Prozesssignatur ist, dass die Beanspruchungen während des laufenden Prozesses charakterisiert werden können. Aufgrund der rauen Prozessbedingungen gibt es beim Schleifen bisher keine prozessbegleitende Technik zur Messung der thermomechanischen Beanspruchungen in Form von Verschiebungen und Dehnungen in der bearbeiteten Randzone. Aus diesem Grund wird die Eignung der Speckle-Fotografie für prozessbegleitende Messungen von Werkstückbeanspruchungen in einem laufenden Schleifprozess ohne Kühlschmierstoff nachgewiesen und ein Konzept für eine Messung unter dem Einsatz von Kühlschmierstoffen vorgestellt.
    Type of Medium: Online Resource
    ISSN: 2196-7113 , 0171-8096
    RVK:
    RVK:
    Language: English
    Publisher: Walter de Gruyter GmbH
    Publication Date: 2020
    detail.hit.zdb_id: 2025790-9
    SSG: 15,3
    Library Location Call Number Volume/Issue/Year Availability
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  • 3
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    Walter de Gruyter GmbH ; 2021
    In:  tm - Technisches Messen Vol. 88, No. s1 ( 2021-09-27), p. s53-s58
    In: tm - Technisches Messen, Walter de Gruyter GmbH, Vol. 88, No. s1 ( 2021-09-27), p. s53-s58
    Abstract: Der Bedarf an skalierbaren Messsystemen für die umfassende Qualitätsprüfung zahnindividueller Formparameter metergroßer Zahnräder mit einstelliger Unsicherheit im Mikrometerbereich wächst. Taktile Standardverzahnungsmesssysteme sind präzise, aber aufgrund der limitierten Geschwindigkeit und des begrenzten Messvolumens für eine umfassende Qualitätsprüfung aller Zähne nur bedingt geeignet. Aus diesem Grund wird ein schnellerer optischer Multi-Distanz-Messansatz mit modellbasierter Auswertung zur Verzahnungsmessung untersucht. Über bisherige Arbeiten hinausgehend, in denen zunächst der mittlere Grundkreisradius als grundlegender Formparameter von allen Zähnen bestimmt wurde, wird hier die Eignung des Messansatzes zur Erfassung zahnindividueller Formparameter untersucht. Messungen an kleinen Verzahnungen zeigen, dass der zahnindividuelle Grundkreisradius im Mittel mit einer Unsicherheit 〈 10 μm ( 𝑘 = 2) bestimmt werden kann, was eine vielversprechende Grundlage für die zukünftige Anwendung des Multi-Distanz-Messansatzes bei Großverzahnungen bietet.
    Type of Medium: Online Resource
    ISSN: 0171-8096 , 2196-7113
    RVK:
    RVK:
    Language: English
    Publisher: Walter de Gruyter GmbH
    Publication Date: 2021
    detail.hit.zdb_id: 2025790-9
    SSG: 15,3
    Library Location Call Number Volume/Issue/Year Availability
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  • 4
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    Walter de Gruyter GmbH ; 2021
    In:  tm - Technisches Messen Vol. 88, No. 12 ( 2021-12-31), p. 785-794
    In: tm - Technisches Messen, Walter de Gruyter GmbH, Vol. 88, No. 12 ( 2021-12-31), p. 785-794
    Abstract: Kühlschmierstoff (KSS)-strömungen werden in Schleifprozessen eingesetzt, um Schleifbrand am Werkstück zu verhindern. Bislang wurde die KSS-Zufuhr heuristisch optimiert. Um eine zielgerichtete KSS-Strömungsoptimierung zu ermöglichen, wird erstmals die optische schleifscheibennahe Messung von KSS-Strömungsfeldern mittels Particle Image Velocimetry (PIV) und durch Nachverfolgung von Mustern in Schattenwurfbildern untersucht. Als erster Schritt wird an der rotierenden Schleifscheibe, jedoch ohne die Bearbeitung eines Werkstücks, gemessen. Beide Messmethoden liefern vergleichbare Ergebnisse, wobei nahe der Schleifscheibenoberfläche mittels PIV Messwerte mit geringerer Messunsicherheit erzielt werden. Mit dem verwendeten Messaufbau lassen sich mittels PIV Geschwindigkeiten in einem Abstand zwischen 0 cm bis 2 cm und mittels Schattenwurf zwischen 0 cm bis 5 cm zur Schleifscheibenoberfläche messen. Im Ergebnis konnte erstmals der für die Kühlleistung relevante Parameter des Geschwindigkeitsverhältnisses zwischen KSS-Anströmung und Schleifscheibenoberflächengeschwindigkeit in situ gemessen werden. Es wurde festgestellt, dass eine aus der Literatur bekannte Verringerung der Kühleffizienz ab einem Geschwindigkeitsverhältnis von 0,8 mit einem Abprallen des KSS-Strahls beim Auftreffen auf die Schleifscheibe korreliert. In zukünftigen Untersuchungen ist zu klären, wie sich die hier gewonnenen Erkenntnisse zur Messfähigkeit und zum Strömungsverhalten auf den Schleifprozess mit Werkstück übertragen lassen.
    Type of Medium: Online Resource
    ISSN: 2196-7113 , 0171-8096
    RVK:
    RVK:
    Language: English
    Publisher: Walter de Gruyter GmbH
    Publication Date: 2021
    detail.hit.zdb_id: 2025790-9
    SSG: 15,3
    Library Location Call Number Volume/Issue/Year Availability
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  • 5
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    MDPI AG ; 2021
    In:  Sensors Vol. 21, No. 7 ( 2021-04-02), p. 2486-
    In: Sensors, MDPI AG, Vol. 21, No. 7 ( 2021-04-02), p. 2486-
    Abstract: Lateral scanning white light interferometry (LSWLI) is a promising technique for high-resolution topography measurements on moving surfaces. To achieve resolutions typically associated with white light interferometry, accurate information on the lateral displacement of the measured surface is essential. Since the uncertainty requirement for a respective displacement measurement is currently not known, Monte Carlo simulations of LSWLI measurements are carried out at first to assess the impact of the displacement uncertainty on the topography measurement. The simulation shows that the uncertainty of the displacement measurement has a larger influence on the total height uncertainty than the uncertainty of the displacing motion itself. Secondly, a sufficiently precise displacement measurement by means of digital speckle correlation (DSC) is proposed that is fully integrated into the field of view of the interferometer. In contrast to externally applied displacement measurement systems, the integrated combination of DSC with LSWLI needs no synchronization and calibration, and it is applicable for translatory as well as rotatory scans. To demonstrate the findings, an LSWLI setup with integrated DSC measurements is realized and tested on a rotating cylindrical object with a surface made of a linear encoder strip.
    Type of Medium: Online Resource
    ISSN: 1424-8220
    Language: English
    Publisher: MDPI AG
    Publication Date: 2021
    detail.hit.zdb_id: 2052857-7
    Library Location Call Number Volume/Issue/Year Availability
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  • 6
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    Springer Science and Business Media LLC ; 2020
    In:  Nanomanufacturing and Metrology Vol. 3, No. 2 ( 2020-06), p. 91-104
    In: Nanomanufacturing and Metrology, Springer Science and Business Media LLC, Vol. 3, No. 2 ( 2020-06), p. 91-104
    Abstract: The efficient development of new materials with defined properties requires fast methods of testing low volumes of material, such as a high-throughput investigation of spherical metallic micro samples with varying compositions and structuring treatments. A classical material testing method for macro samples, the tensile test cannot be employed for analyzing the mechanical properties of spherical samples with diameters below 1 mm since there are currently no methods for holding and stretching them. A combination between the incremental electrohydraulic extrusion as stress actuation unit and the speckle photography as strain measuring method is presented for obtaining the required mechanical characteristics. Positive longitudinal strain is generated at stepwise extrusion through  〈  1 mm wide forming channels using a liquid punch and the deformation is observed in situ after each forming step at the interface between the micro sample and a transparent window integrated into the forming die. The occurring local strain fields with a lateral extension down to 100 µm and high gradients require displacement measurements with high lateral resolution over a large range of local dislocations between 0.1 and 〉  10 µm. It is unknown, whether the speckle strain measuring method is able to provide the necessary low uncertainty for the required resolution in the whole measuring range. Therefore, theoretical and experimental investigations of the deformation measurability using the speckle correlation method are presented, showing that local displacements up to 10 µm can be measured with a spatial resolution between 3 and 10 µm depending on the displacement size. The dominant effect influencing the measurement uncertainty for displacements at this high spatial resolution is the speckle noise, resulting into measurement uncertainties of less than 100 nm. Hence, speckle photography is shown to be applicable for tensile test on micro samples.
    Type of Medium: Online Resource
    ISSN: 2520-811X , 2520-8128
    Language: English
    Publisher: Springer Science and Business Media LLC
    Publication Date: 2020
    detail.hit.zdb_id: 2918284-0
    Library Location Call Number Volume/Issue/Year Availability
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  • 7
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    Optica Publishing Group ; 2019
    In:  Applied Optics Vol. 58, No. 23 ( 2019-08-10), p. 6436-
    In: Applied Optics, Optica Publishing Group, Vol. 58, No. 23 ( 2019-08-10), p. 6436-
    Type of Medium: Online Resource
    ISSN: 1559-128X , 2155-3165
    Language: English
    Publisher: Optica Publishing Group
    Publication Date: 2019
    detail.hit.zdb_id: 207387-0
    Library Location Call Number Volume/Issue/Year Availability
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  • 8
    Online Resource
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    MDPI AG ; 2018
    In:  Journal of Manufacturing and Materials Processing Vol. 2, No. 1 ( 2018-01-30), p. 9-
    In: Journal of Manufacturing and Materials Processing, MDPI AG, Vol. 2, No. 1 ( 2018-01-30), p. 9-
    Type of Medium: Online Resource
    ISSN: 2504-4494
    Language: English
    Publisher: MDPI AG
    Publication Date: 2018
    detail.hit.zdb_id: 2911715-X
    Library Location Call Number Volume/Issue/Year Availability
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  • 9
    Online Resource
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    Optica Publishing Group ; 2018
    In:  Applied Optics Vol. 57, No. 1 ( 2018-01-01), p. 92-
    In: Applied Optics, Optica Publishing Group, Vol. 57, No. 1 ( 2018-01-01), p. 92-
    Type of Medium: Online Resource
    ISSN: 1559-128X , 2155-3165
    Language: English
    Publisher: Optica Publishing Group
    Publication Date: 2018
    detail.hit.zdb_id: 207387-0
    Library Location Call Number Volume/Issue/Year Availability
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  • 10
    Online Resource
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    Optica Publishing Group ; 2021
    In:  Applied Optics Vol. 60, No. 7 ( 2021-03-01), p. 1871-
    In: Applied Optics, Optica Publishing Group, Vol. 60, No. 7 ( 2021-03-01), p. 1871-
    Abstract: To measure surface displacement on micro samples, a non-invasive method with both a low displacement measurement uncertainty below 100 nm and high spatial resolution of around 20 µm is required. In digital image speckle correlation, both requirements can be fulfilled individually but not simultaneously. To lower the displacement measurement uncertainty without deteriorating the spatial resolution, an ensemble averaging technique over multiple uncorrelated speckle patterns is presented. To generate and reproduce different speckle patterns, two concepts for the respective modulation of laser light illumination are investigated: a low-cost concept with a rotating glass diffuser, as well as a faster concept using a digital micromirror device combined with a stationary diffuser with a maximum pattern rate of 17.9 kHz. Both setups lead to a measurement uncertainty reduction by one order of magnitude over a wide range of spatial resolutions. As a result, displacements in the micrometer range are measured with a measurement uncertainty of 40 nm and spatial resolution of 20 µm.
    Type of Medium: Online Resource
    ISSN: 1559-128X , 2155-3165
    Language: English
    Publisher: Optica Publishing Group
    Publication Date: 2021
    detail.hit.zdb_id: 207387-0
    Library Location Call Number Volume/Issue/Year Availability
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