Format:
189 S.
,
Ill., graph. Darst.
,
21 cm 299 g
ISBN:
9783844030396
Series Statement:
Berichte aus der Physik
Note:
Zugl.: Hannover, Univ., Diss., 2014
Additional Edition:
Online-Ausg. Werner, Florian, 1983- Atomic layer deposition of aluminum oxide on crystalline silicon Aachen : Shaker, 2014
Language:
English
Keywords:
Aluminiumoxide
;
Dielektrische Schicht
;
Atomlagenabscheidung
;
Inversionsschicht
;
Siliciumhalbleiter
;
Hochschulschrift
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