Format:
XIV, 109 S. : Ill., graph. Darst.
ISBN:
9783844006179
Series Statement:
Materials chemistry dissertation 2011,14
Note:
Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2011
Additional Edition:
Erscheint auch als Online-Ausg. Jiang, Kaiyun: Al 2 O 3 thin films: relation between structural evolution, mechanical properties and stability
Language:
English
Keywords:
Aluminiumoxide
;
PECVD-Verfahren
;
Mikrostruktur
;
Mechanische Eigenschaft
;
Stabilität
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