Format:
162 Seiten
,
Illustrationen, Diagramme
,
21 cm x 14.8 cm, 249 g
Edition:
1. Auflage
ISBN:
9783844081350
,
3844081356
Series Statement:
Berichte aus der Halbleitertechnik
Note:
Dissertation Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg 2021
Language:
German
Subjects:
Engineering
Keywords:
Siliciumcarbid
;
Kristallzüchtung
;
Gasphase
;
Kristallwachstum
;
Prozessanalyse
;
Computertomografie
;
In situ
;
Prozessmodell
;
Hochschulschrift
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