UID:
almahu_9949710986102882
Format:
1 electronic resource (XVIII, 91 p. p.)
Series Statement:
Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Informatik / Automatisierungstechnik
Content:
Im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs-Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorn in Richtung ""Small Equipment for small Parts"" darstellt. Im vorliegenden Beitrag wird dieses System vorgestellt und es werden die erforderlichen Prozesse zur Herstellung des hybrid aufgebauten Sensors beschrieben.
Note:
German
Additional Edition:
ISBN 3-937300-95-3
Language:
German
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