Format:
X, 356 S
,
Ill., graph. Darst
,
24 cm
Edition:
Fotomechanischer Ms.-Nachdr.
Note:
Beitr. teilw. dt., teilw. engl
,
Literaturangaben
Language:
German
Keywords:
Mikrosystemtechnik
;
Mikrosensor
;
Mikroaktor
;
Biochip
;
Systementwurf
;
Systemintegration
;
Simulation
;
Konferenzschrift
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