Format:
91 S. :
,
Ill., graph. Darst.
Note:
Regensburg, Univ., Diss., 1991
Language:
German
Subjects:
Physics
Keywords:
Titan
;
Wolfram
;
Diffusionsbarriere
;
Integrierte Schaltung
;
Titannitrid
;
Diffusionsbarriere
;
Integrierte Schaltung
;
Titan
;
Wolfram
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Diffusionsbarriere
;
Titannitrid
;
Diffusionsbarriere
;
Hochschulschrift
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