Format:
220 S.
,
Ill., graph. Darst.
,
21 cm
ISBN:
9783941003071
Note:
Zugl.: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2008
Language:
German
Subjects:
Engineering
Keywords:
Dünnschichttechnik
;
Verkappen
;
Mikrostruktur
;
Opferschicht
;
Polymere
;
PECVD-Verfahren
;
Hochschulschrift
Author information:
Reuter, Danny 1974-
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