Format:
120 S. :
,
Ill., graph. Darst.
Edition:
[Mikrofiche-Ausg.]
Edition:
Mikroform-Ausgabe 2 Mikrofiches : 24x Mikrofiche-Ausg.:
Note:
Berlin, Techn. Univ., Diss., 1995
Additional Edition:
Reproduktion von Schnabel, Rainer Florian Heteroepitaxie von InP-basierten Bauelementstrukturen auf strukturierten Si-Substraten 1995
Language:
German
Keywords:
Silicium
;
Halbleitersubstrat
;
Indiumphosphid
;
MOCVD-Verfahren
;
Hochschulschrift
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