Format:
1 Online-Ressource
Edition:
Online-Ausgabe Springer ebook collection / Chemistry and Materials Science 2005-2008 Sonstige Standardnummer des Gesamttitels: 041171-1
ISBN:
9783540294993
Series Statement:
Springer Series in Advanced Microelectronics 19
Additional Edition:
Reproduktion von Perevoščikov, Viktor A. Gettering Defects in Semiconductors 2005
Additional Edition:
Erscheint auch als Druckausgabe ISBN 978-3-540-26244-2
Language:
English
Subjects:
Engineering
,
Physics
Keywords:
Halbleiter
;
Störstelle
;
Getterung
DOI:
10.1007/3-540-29499-6
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