Format:
4
ISSN:
0734-2101
In:
Journal of vacuum science and technology / A, New York, NY : Inst., 1983, 28(2010), 4, Seite 795-799, 0734-2101
In:
volume:28
In:
year:2010
In:
number:4
In:
pages:795-799
In:
extent:4
Language:
Undetermined
Author information:
Wiesendanger, Roland 1961-
Author information:
Bröring, Martin 1967-
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