ISSN:
2166-2746
In:
Journal of vacuum science and technology / B, New York, NY : Inst., 1983, 37(2019), 6, Seite 061203-1-061203-10, 2166-2746
In:
volume:37
In:
year:2019
In:
number:6
In:
pages:061203-1-061203-10
Language:
English
Author information:
Kohlstedt, Hermann
Author information:
Kienle, Lorenz 1967-
Author information:
Ziegler, Martin 1980-
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