Format:
III, 111 S.
,
Ill., graph. Darst.
Series Statement:
Forschungszentrum 〈Karlsruhe〉: Wissenschaftliche Berichte 6346
Note:
Zsfassung in engl. Sprache
,
Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss., 1999
Language:
German
Keywords:
Infrarotspektrometer
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Mikrosystemtechnik
;
LIGA-Verfahren
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Infrarotspektrometer
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Mikrosystemtechnik
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Chopper
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LIGA-Verfahren
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Hochschulschrift
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