ISSN:
0948-1907
Note:
DOI: 10.1002/cvde.201004300
In:
Chemical vapor deposition, Weinheim : Wiley-VCH, 1995, 17(2011), 7/9, Seite 177-180, 0948-1907
In:
volume:17
In:
year:2011
In:
number:7/9
In:
pages:177-180
Language:
English
Author information:
Nielsch, Kornelius 1973-
Author information:
Bachmann, Julien 1978-
Bookmarklink