Format:
X, 207 S.
,
Ill., graph. Darst.
Edition:
Als Ms. gedr.
ISBN:
3826526465
Series Statement:
Berichte aus der Halbleitertechnik
Note:
Zugl.: Chemnitz, Zwickau, Techn. Univ., Diss., 1996
Language:
German
Subjects:
Engineering
Keywords:
Wolfram
;
Dünne Schicht
;
CVD-Verfahren
;
Hochschulschrift
Author information:
Schulz, Stefan E. 1964-
Bookmarklink