Format:
245 S.
,
Ill. graph. Darst.,
ISBN:
9783941003170
Note:
Enth. außerdem: Thesen
,
Zugl.: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2010
Additional Edition:
Erscheint auch als Online-Ausgabe Wächtler, Thomas, 1979 - Thin films of Copper oxide and Copper grown by atomic layer deposition for applications in metallization systems of microelectronic devices Chemnitz : Universitätsverlag Chemnitz, 2010
Language:
English
Subjects:
Engineering
,
Physics
Keywords:
Kupfer
;
Kupferoxide
;
Dünne Schicht
;
Atomlagenabscheidung
;
Metallisieren
;
Ameisensäure
;
Atomschichtepitaxie
;
Ausgangsmaterial
;
Diketonate
;
Galvanische Abscheidung
;
Kupfer
;
Kupferoxide
;
Metallisierungsschicht
;
Reduktion
;
Ruthenium
;
Tantal
;
Tantalnitride
;
ULSI
;
Hochschulschrift
Author information:
Wächtler, Thomas 1979-
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