Format:
6
ISSN:
2166-2746
In:
Journal of vacuum science and technology / B, New York, NY : Inst., 1983, 27(2009), 2, Seite 799-804, 2166-2746
In:
volume:27
In:
year:2009
In:
number:2
In:
pages:799-804
In:
extent:6
Language:
Undetermined
Author information:
Wiesendanger, Roland 1961-
Author information:
Bröring, Martin 1967-
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