Format:
XIX, 369 S.
,
Ill., graph. Darst.
ISBN:
9783527325085
Additional Edition:
Erscheint auch als Online-Ausgabe ISBN 978-3-527-63345-6
Additional Edition:
Erscheint auch als Online-Ausgabe ISBN 978-3-527-63344-9
Language:
English
Subjects:
Engineering
,
Chemistry/Pharmacy
,
Physics
Keywords:
Polymere
;
Oberflächenstruktur
;
Nanostruktur
;
Mikrostruktur
;
Lithografie
;
Nanolithografie
Author information:
Campo, Aránzazu del
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