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CCD Image Sensors in Deep-Ultraviolet : Degradation Behavior and Damage Mechanisms

Gespeichert in:
Bibliographische Angaben
Beteiligte: Li, Flora M., , Nathan, Arokia, 1957-
Sprache: Englisch
Veröffentlicht:Berlin, Heidelberg : Springer Berlin Heidelberg, 2005
Schriftenreihe:Microtechnology and Mems
SpringerLink : Bücher
Umfang:Online-Ressource (XI, 231 p. 84 illus, digital)
Bibliogr. Zusammenhang:Buchausg. u.d.T.: Li, Flora M. : CCD image sensors in deep-ultraviolet. - Berlin : Springer, 2005. - XI, 231 S 
ISBN:9783540274124
354027412X
9783540226802
354022680X
Schlagwörter:
CCD-Sensor
Excimerlaser
Tiefes Ultraviolett
Siliciumdioxid
Strahlenschaden
Degradation > Technik
Spectrum analysis
Electronics
Optical materials
Chemistry
Basisklassifikation:

53.54 Optoelektronik

DOI:

10.1007/b139047

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