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Microelectronic processing laboratory at NBS / T. F. Leedy, Y. M. Liu
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| Autor:in: | |
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| Beteiligte: | |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: | Washington, DC : US Dep. of Commerce, National Bureau of Standards : for sale by the Supt. of Docs., U.S. Gov. Print. Off, 1978 |
| Schriftenreihe: | National Bureau of Standards special publication / USA / National Bureau of Standards
; ZDB-ID: 424567-2 ; 400-53
Semiconductor measurement technology ; ZDB-ID: 274640-2 ; 53 |
| Umfang: | IV, 28 S. : graph. Darst. ; 27 cm |
| Schlagwörter: |