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Art des Inhalts	Hochschulschrift
Titel	Untersuchungen über die Möglichkeit eines Einsatzes von Electron-Cyclotron-Resonance-Entladungen für die Trockenätzung von Silicium mit dem Gassystem H2/Cl2
Person(en)	Kölbl, Christian (Verfasser)
Zeitliche Einordnung	Erscheinungsdatum: 1993
Umfang/Format	125 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm
Hochschulschrift	München, Techn. Univ., Diss., 1993
Schlagwörter	Silicium ; Halbleitersubstrat ; ECR-Ätzen ; Chlor ; Sauerstoff
Sachgruppe(n)	37 Elektrotechnik ; 29 Physik, Astronomie

Frankfurt	Signatur: H 1993 A 7123 Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig	Signatur: H 1993 A 7123 Bereitstellung in Leipzig

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