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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Development of a traceable atomic force microscope with interferometer and compensation flexure stage / von Chao-Jung Chen
Person(en) Chen, Chao-Jung (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2003
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 19,5 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Chen, Chao-Jung: Development of a traceable atomic force microscope with interferometer and compensation flexure stage
Hochschulschrift Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2003
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2003000015
URL http://www.db-thueringen.de/servlets/DerivateServlet/Derivate-2015/ilm1-2003000015.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=1183 (Verlag)
Sprache(n) Englisch (eng)
Schlagwörter Rasterkraftmikroskop ; Kalibrieren <Messtechnik> ; Laserinterferometer ; Online-Publikation
Sachgruppe(n) 530 Physik

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