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129152668
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PPN:
129152668
Titel:
Development of a traceable atomic force microscope with interferometer and compensation flexure stage
[Elektronische Ressource] / von Chao-Jung Chen
Verantwortlich:
Chen, Chao-Jung
,
i
1960-
Erschienen:
2003
Umfang:
Online-Ressource
Hochschulschrift:
Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2003
:
Rasterkraftmikroskop
Kalibrieren, Messtechnik
Laserinterferometer
f Online-Publikation
Bitte beziehen Sie sich beim Zitieren dieses Dokuments immer auf die folgende Angabe:
URN:
urn:nbn:de:gbv:ilm1-2003000015
Zugang:
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