| | Zitierlink |
|---|
| Medienart |  [Buch] |
|---|
| Art/Inhalt | Hochschulschrift |
|---|
| Titel | Closed loop control of III-V semiconductor growth by combined spectroscopic ellipsometry and reflectance difference spectroscopy / Martin Ebert |
|---|
| Person | Ebert, Martin [Verfasser/in] |
|---|
| Veröffentlichung | Berlin : Wissenschaft und Technik Verl., 2001 |
|---|
| Umfang / Format | IX, 99 Seiten : graph. Darst. ; 21 cm |
|---|
| Ausgabe | 1. Aufl. |
|---|
| Hochschulvermerk | Zugl.: Diss., Techn. Univ., Berlin, 2000 |
|---|
| Sprache | Englisch |
|---|
| ISBN | 3-89685-368-6 |
|---|
| Zielgruppe | Erwachsene |
|---|
| Schlagwortkette | Drei-Fünf-Halbleiter ; MOCVD-Verfahren ; Kristallwachstum ; Ellipsometrie ; Reflexionsspektroskopie |
|---|
| Erläuterungen | Bestandserhaltungsmassnahmen: Maßnahme: Archivierung/Langzeitarchivierung gewährleistet; Rechtsgrundlage: PEBE; Institution: DE-109; |
|---|
| Inhaltsverzeichnis | Link zum Inhaltsverzeichnis |
|---|
| Besitzende Bibliotheken | Standortkarte |
|---|