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Satz 1 von 1       Fundamental principles of optical lithography: the science of microfabrication 1. Person/Familie Mack, Chris A. Titel Fundamental principles of optical lithography: the science of microfabrication Verantw.-ang. Chris Mack Verlagsort Chichester Verlag Wiley E-Jahr 2007 Umfangsangabe XVII, 515 S. ISBN 978-0-470-01893-4 ISBN 978-0-470-72730-0 Notation 78A55 Bestand 1 Sign-Info 78A55 Mac

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