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202871452
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PPN:
202871452
Titel:
Entwicklung einer Dünnschichtverkappungstechnologie für oberflächennahe Mikrostrukturen
[Elektronische Ressource] / vorgelegt von Danny Reuter
Verantwortlich:
Reuter, Danny
,
i
1974-
Erschienen:
2008
Umfang:
Online-Ressource
Hochschulschrift:
Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2008
:
Mikrosystemtechnik
PECVD-Verfahren
Plattentheorie
Opferschicht
Dünnschichttechnik
Verkappen
Polymere
Mikrostruktur
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URN:
urn:nbn:de:bsz:ch1-200800721
Zugang:
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