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	Ihre Aktion	Suchen (Pica-Produktionsnummer (XPPN)) 275361500

Titel:	The role of microscopy in semiconductor failure analysis / B. P. Richards and P. K. Footner
VerfasserIn:	Richards, B. P. ; Footner, P. K.
Sprache/n:	Englisch
Veröffentlichungsangabe:	Oxford [u.a.] : Oxford Univ. Press, 1992
Umfang:	VI, 108 S. : Ill., graph. Darst.
Schriftenreihe:	Microscopy handbooks. - Oxford : BIOS Scientific Publ., 1984- ; ZDB-ID: 50223-6 ; 25 Oxford science publications
Anmerkung:	Includes index
ISBN:	0-19-856432-5
Schlagwörter:	Halbleiterbauelement / Fehleranalyse / Mikroskopie Mikroskopie / Halbleiterbauelement / Fehlererkennung Halbleiter / Fehleranalyse / Mikroskopie Semiconductors -- Microscopy ; Semiconductors -- Testing ; Semiconductors -- Failures ; Microscopes
Mehr zum Thema:	Klassifikation der Library of Congress: TK7871.85 Dewey Dezimal-Klassifikation: 621.381520287 ; 621.3815/2/0287 Regensburger Verbund-Klassifikation: UH 6700: U Physik / UH Klassische Felder, Elektrizitätslehre, Optik, Quantenoptik, Laser, Relativitätstheorie / Instrumentelle Optik und Physik optischer Instrumente insgesamt, Allgemeines Regensburger Verbund-Klassifikation: UH 6300: U Physik / UH Klassische Felder, Elektrizitätslehre, Optik, Quantenoptik, Laser, Relativitätstheorie / Transmissionselektronenmikroskopie insgesamt, Allgemeines
Mehr zum Titel:	Inhaltsverzeichnis

Lokale Sachgebiete:	Tec K 91; Halbleiter
Inhaltsangaben:	kaz

Signatur:	1 A 163969
Standort:	Potsdamer Straße





Literaturverwaltung:	BIBTEX - ENDNOTE - RIS

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