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High resolution focused ion beams : FIB and its applications ; the physics of liquid metal ion sources and ion optics and their application to focused ion beam technology / Jon Orloff; Mark Utlaut and Lynwood Swanson
High resolution focused ion beams : FIB and its applications ; the physics of liquid metal ion sources and ion optics and their application to focused ion beam technology / Jon Orloff ; Mark Utlaut ; Lynwood Swanson. New York, NY [u.a.] : Kluwer Academic, Plenum Publ., c 2003
