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PPN: |
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Titel: |
High resolution focused ion beams : FIB and its applications ; the physics of liquid metal ion sources and ion optics and their application to focused ion beam technology / Jon Orloff; Mark Utlaut and Lynwood Swanson
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Verfasser: |
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Ort/Jahr: |
New York, NY [u.a.] : Kluwer Academic, Plenum Publ., c 2003 |
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Sprache/n: |
Englisch |
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Umfang: |
X, 303 S : Ill., graph. Darst |
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Anmerkung: |
Exemplare erscheinen in unterschiedlichen Größen (Formate)
Includes bibliographical references and index
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ISBN: |
0-306-47350-X |
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Identnummer: |
12002-28661 |
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Schlagwörter: |
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Klassifikation: |
Dewey Decimal Classification: 621.38152
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Links zum Titel:
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