Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/98970162X |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Entwicklung einer Dünnschichtverkappungstechnologie für oberflächennahe Mikrostrukturen / vorgelegt von Danny Reuter |
| Person(en) | Reuter, Danny (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2008 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 24,6 MB |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Reuter, Danny: Entwicklung einer Dünnschichtverkappungstechnologie für oberflächennahe Mikrostrukturen |
| Hochschulschrift | Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2008 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:ch1-200800721 |
| URL |
http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2008/0072/data/Reuter_Diss.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2008/0072 (Verlag) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter | Mikrosystemtechnik ; Opferschicht ; Plattentheorie |
| DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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