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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Entwicklung einer Dünnschichtverkappungstechnologie für oberflächennahe Mikrostrukturen / vorgelegt von Danny Reuter
Person(en) Reuter, Danny (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2007
Umfang/Format 220 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Online-Ausgabe: Reuter, Danny: Entwicklung einer Dünnschichtverkappungstechnologie für oberflächennahe Mikrostrukturen
Hochschulschrift Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2008 (Nicht für den Austausch)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Mikrosystemtechnik ; Opferschicht ; Plattentheorie
DDC-Notation 621.38152 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

Frankfurt Signatur: 2008 A 79008
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2008 A 102264
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Leipzig




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