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Verbund-ID = BV039600702
1
Onlinekatalog der TFH Wildau (1/1)
 Ätzen mit Silizium mit hoher Rate in einer Plasmaätzanlage für die Verkleinerung der Substratdicke bei KryosensorenVerfasser: Mandel, Marek Martin Verlagsort, Jahr: Wildau, 2011 Umfangsangabe: 39 Blätter Schlagwort: Quanteninterferometer , Silicium , Plasmaätzen Signatur: 0P05/08(11) (Signatur s. Exemplare) in die Merkliste | 
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https://btwov60.bib-bvb.de/00/bvnr/BV039600702
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Mediennummer
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Signatur
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Status
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Zweigstelle | |
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D00069645
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0P05/08(11)
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ausleihbar (Lesesaal)
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Halle 10 (Hochschulbibliothek)
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