Abschlussbericht zum Verbundprojekt: Durchgängige Simulations-, Entwicklungs- und Technologieplattform für eine neue Generation intelligenter und hochpräziser Inertialsensorsysteme im Geräte- und Anlagenbau - GIPRIS : Teilvorhaben: AIM Prozesstechnologie für neue MEMS-Generation mit höchster Genauigkeit sowie Methoden und Werkzeuge : 01.10.2012 bis 30.06.2016 (German)
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2016
- Report / Electronic Resource
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Title:Abschlussbericht zum Verbundprojekt: Durchgängige Simulations-, Entwicklungs- und Technologieplattform für eine neue Generation intelligenter und hochpräziser Inertialsensorsysteme im Geräte- und Anlagenbau - GIPRIS : Teilvorhaben: AIM Prozesstechnologie für neue MEMS-Generation mit höchster Genauigkeit sowie Methoden und Werkzeuge : 01.10.2012 bis 30.06.2016
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Additional title:Continuous simulation, development and technology plattform for a new generation of intelligent and high-precision inertial sensor systems in equipment and machine engineering (GIPRIS)
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Contributors:Arnold, Benjamin ( author ) / Meinecke, Christoph Robert ( author ) / Reuter, Danny ( author ) / Dienel, Marco ( author ) / Mehner, Jan ( author ) / Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien ( issuing body )
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Publisher:
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Place of publication:Chemnitz
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Publication date:2016
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Size:1 Online-Ressource (28 Seiten, 2,34 MB)
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Remarks:Illustrationen, Diagramme
Förderkennzeichen BMBF 16M3094D. - Verbund-Nummer 01127305
Autoren dem Berichtsblatt entnommen
Paralleltitel dem englischen Berichtsblatt entnommen
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Digital preservation by Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek -
DOI:
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Type of media:Report
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Type of material:Electronic Resource
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Language:German
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Contract number:16M3094D, 01127305, 810301813990
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Keywords:
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Classification:
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