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Buch

Chang, C. Y. [Sonstige]

New York, NY [u.a.] : McGraw-Hill

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Details

UID:

b3kat_BV010907254

Umfang: XXV, 726 S. , Ill., graph. Darst.

ISBN: 0070630623 , 0071141057

Serie: McGraw-Hill series in electrical and computer engineering

Sprache: Englisch

Schlagwort(e): ULSI ; Epitaxie ; Ätzen ; Reinraumtechnik ; Lithografie

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