Buch
Orlando, Fla. 〈〈[u.a.]〉〉 : Acad. Pr.
Umfang:
XIV, 527 S.
,
Ill., graph. Darst.
ISBN:
0122341082
Serie:
VLSI electronics, microstructure science 8
Sprache:
Unbestimmte Sprache
Schlagwort(e):
Sputtern
;
Plasmatechnik
;
Plasmastrahlbearbeitung
;
Plasmaätzen
;
VLSI
;
Lithografie
;
Mikroelektronik
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