Format:
XI, 200 S.
,
Ill., graph.Darst.
ISBN:
0125112203
Note:
Literaturverz. S. 177 - 186
Language:
Undetermined
Subjects:
Engineering
,
Physics
Keywords:
Silicide
;
VLSI
;
Silicium-Übergangsmetall-Verbindungen
;
VLSI
;
Siliciumverbindungen
;
Halbleitertechnologie
;
Silicium-Übergangsmetall-Verbindungen
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