Umfang:
Online-Ressource
ISBN:
9781424438266
,
2355000069
,
9782355000065
Anmerkung:
"IEEE Catalog Number CFP08DTI-PRT"--PDF copyright page
,
Includes bibliographical references and partial author index
,
Title from PDF title page (IEEE Xplore, viewed Sept. 16, 2009)
,
Parallel als Buch-Ausg. erschienen u.d.T.: Collection of papers presented at the DTIP of MEMS & MOEMS
Weitere Ausg.:
ISBN 9782355000065
Sprache:
Englisch
Schlagwort(e):
Mikrosystemtechnik
;
Konferenzschrift
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