Umfang:
VIII, 156 S.
,
Ill., graph. Darst.
Ausgabe:
Als Ms. gedr.
ISBN:
3181448095
Serie:
Fortschrittberichte VDI 148
Anmerkung:
Literaturverz. S. 147 - 156
,
Zugl.: Hannover, Univ., Diss., 1992
Sprache:
Deutsch
Fachgebiete:
Physik
Schlagwort(e):
Siliciumbauelement
;
Oberfläche
;
Veredelung
;
Elektronische Eigenschaft
;
Silicium
;
Oberfläche
;
Hochschulschrift
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