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Drucksensoren für die Systemintegration in Silizium (1995)

Adams, Stefan [Verfasser]

Düsseldorf : VDI-Verl.

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Details

UID:

b3kat_BV010113930

Umfang: VIII, 109 S. , Ill., graph. Darst.

Ausgabe: Als Ms. gedr.

ISBN: 3183201097

Serie: Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 9] 201

Anmerkung: Zugl.: Dortmund, Univ., Diss., 1994

Sprache: Deutsch

Schlagwort(e): CMOS ; Silicium ; Halbleitersubstrat ; Drucksensor ; Integration ; Drucksensor ; Integrierter Sensor ; Hochschulschrift ; Hochschulschrift

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