Format:
IX, 111 S.
,
Ill., graph. Darst.
Edition:
Als Ms. gedr.
ISBN:
318320309X
Series Statement:
Fortschritt-Berichte VDI : Reihe 9, Elektronik 203
Note:
Zugl.: Berlin., Techn. Univ., Diss., 1994
Language:
Undetermined
Keywords:
CMOS
;
Siliciumsensor
;
Beschleunigungssensor
;
Halbleitertechnologie
;
Hochschulschrift
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